Les capteurs sous vide permettent d'atteindre des températures de l’ordre de 150°C avec des rendements corrects. Le vide créé à l'intérieur des tubes permet de réduire de manière importante les déperditions lors de la montée en température. Ils sont moins encombrants et plus performants que les capteurs plans vitrés mais ils sont plus couteux et plus fragiles.

Figure 10 : Principe du capteur à tubes sous vide